MPCVD機器

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モデル: 20-2

ブランド: JCB

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JCB-8818 MPCVD機器の紹介

JCB-8818AタイプMPCVDは、JCBが開発した高電力円筒空洞MPCVDです。モリブデンテーブルの有効な成長直径は75/80mmに達する可能性があり、DEF単結晶ダイヤモンドの成長率は10〜15回に達することがあります。この機器は、主に単結晶培養ダイヤモンド、高品質の単結晶カッターダイヤモンド、多結晶ダイヤモンドフィルム、高品質のグラフェンの低温成長、およびマイクロ波プラズマが提供するエネルギーを必要とする材料の成長に主に使用されます。

機器の主な技術パラメーター

1。マイクロ波システム（オプションの電源による）

◆動作周波数：2450 ± 50MHz

◆出力電力：1〜10kWは連続的に調整可能です

◆冷却水の流れ：6-12L/min

◆システムスタンディング波係数： VSWR≤1.5

◆マイクロ波漏れ：<2 MW/cm2

◆マニュアルスリーピン

◆アンテナ調整と短絡ピストン調整を装備

2。真空システムと反応チャンバー

◆リークレート<5 × 10pa .m '/s

◆究極の圧力は0.5 PA未満です（このマシンには輸入されたピラニ真空ゲージが付属しています）