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モデル: 20-2
ブランド: JCB
JCB-8818 MPCVD機器の紹介
機器の主な技術パラメーター
1。マイクロ波システム（オプションの電源による）
◆動作周波数：2450±50MHz
◆出力電力：1〜10kWは連続的に調整可能です
◆冷却水の流れ：6-12L/min
◆システムスタンディング波係数：VSWR≤1.5
◆マイクロ波漏れ：<2 MW/cm2
◆マニュアルスリーピン
◆アンテナ調整と短絡ピストン調整を装備
2。真空システムと反応チャンバー
◆リークレート<5×10pa .m '/s
◆このマシンは、0.5 PAより低い最終圧力に達する可能性があり、正確な測定のために輸入されたPirani真空ゲージが含まれています。
◆空洞の圧力は、圧力を維持した後、50pa以上上昇しません。
◆空気吸気方法：最上部の空気摂取量
◆マシンには、温度測定用の4つの観測ウィンドウがあります。
◆入口：空洞の前面にあります
3.サンプルホルダーシステム
◆サンプルステージ直径≥73mm、効果的な使用直径≥71mm
◆基板テーブル水冷サンドイッチ構造、垂直リフティング
4.空性システム
◆5〜7チャネルのガスを備えたフルメタル溶接ガスプレートオプション
◆機器内のすべての空気経路は溶接またはVCRジョイントを使用します
5。システム冷却
◆3方向の水冷、温度と流れのリアルタイム監視
◆システム冷却水流≤50L/min、冷却水圧<4kg、
水温20〜25cを輸入します
6.温度測定方法
◆外部赤外線温度計、温度範囲300-1400RC
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